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シリコンに導入されたドーパントの物理

近代科学社Digital

5,500円 (5,000円+税)

本書は、半導体デバイスにおいて最も重要な技術の一つである不純物ドーピングにおける基本的な課題や学術的疑問点を取り上げ、それらを物理的な観点から理解を深めることを目的としています。

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