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シリコンに導入されたドーパントの物理
5,500円
(5,000円+税)
本書は、半導体デバイスにおいて最も重要な技術の一つである不純物ドーピングにおける基本的な課題や学術的疑問点を取り上げ、それらを物理的な観点から理解を深めることを目的としています。
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公益社団法人 応用物理学会 半導体分野将来基金委員会
近代科学社Digital
発行日: 2025-02-28
対応フォーマット: PDF, EPUB
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